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産学官連携

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研究シーズ : 局在光制御による高分解能精密計測およびその応用技術開発


高橋 哲 教授

研究室サイト

研究者プロフィール

想定される連携・技術移転先

半導体微細回路やマイクロ流路等の微細パターン形成時欠陥の計測・検査を模索している企業、新しい微細三次元加工技術を模索している企業

製品化・事業化イメージ

超解像型検査装置開発、特殊微細三次元構造創製装置開発

研究の特徴・PRポイント

超解像アルゴリズムに代表されるソフトウエアから光学システムに代表されるハードウエアまでの一貫開発。次世代超精密ものづくりを支援する光の可能性を追求

共同研究を希望する分野・キーワード

光応用ナノ加工、光応用ナノ計測




研究内容


次世代の超精密ものづくりを実現するための、新しい加工・計測技術の確立を目指す。特に、我々生命体の根源をなす“光”エネルギを媒体とした新しい超精密ナノ加工・計測技術に関する研究を推進している。主な研究テーマは以下のとおり。

1.変調照明シフトによる回折限界超越型微細構造検査法の開発

2.エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形に関する研究

3.光触媒ナノ粒子と光の化学的・力学的相互作用を利用したマイクロマシニングに関する研究

4.ナノメートル物体構造を光学的共鳴要素として利用する超高感度検出に関する研究



検査対象 通常顕微像 超解像処理後
検査対象    通常顕微像    超解像処理後
エバネッセント露光で実現される極薄型積層造形
エバネッセント露光で実現される極薄型積層造形

プレスリリース

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活動報告

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