グローバルナビゲーションの開始

  1. ホーム
  2. 先端研について
  3. 研究について
  4. 産学官連携
  5. 国際連携
研究について

本文の開始

研究者一覧

教授Professor
高橋 哲Satoru TAKAHASHI

光製造科学分野

E-mail: takahashi.nanolab.t.u-tokyo.ac.jp

Office: 4号館302-2号室

Tel: 03-5452-5187

outer link 研究室ホームページ

外部リンク Takahashi Laboratory

内部リンク 2017 Research book

略歴

1995年3月
大阪大学大学院工学研究科博士前期課程修了
Line
1996年4月
大阪大学工学部 助手
Line
2002年10月
大阪大学大学院工学研究科 講師
Line
2003年1月
東京大学大学院工学系研究科 助教授
Line
2013年6月
東京大学大学院工学系研究科 教授
Line
2014年4月
東京大学先端科学技術研究センター 教授

研究分野

次世代の超精密ものづくりを実現するため,我々生命体の根源をなす“光”エネルギを媒体とした新しいマイクロ/ナノ加工・計測・生産技術に関する研究を推進している.すなわち,従来から製造現場において広く用いられてきた,高い遠隔制御性を特徴とする自由空間伝搬光エネルギに加え,主に基礎科学分野において用いられてきた,高い空間的局在性を特徴とするエバネッセント光や近接場光といった局在光エネルギも含めて,次世代の先進的生産技術を支援する光エネルギの可能性を追求している.具体的には,レーザー応用ナノインプロセス計測,レーザー応用ナノ加工に代表される先進製造を実現するための要素技術開発とともに,新しいマイクロデバイス生産システム概念となるセルインマイクロファクトリを提唱し,その確立を目指している.それぞれの研究・技術開発においては,(a) 新概念の提案から,(b) 理論・実験両面からの特性解析,(c) 実用化を見据えた実験的検証までをカバーする.主な研究テーマは以下の通りである.
(1) エバネッセント局在フォトンを用いたナノ光造形の開発
(2) 半導体製造におけるナノ欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法の開発
(3) 光触媒ナノ粒子を用いた三次元マイクロ構造レーザー直描法の開発
(4) 局在光エネルギの動的制御を用いたセルインマイクロファクトリに関する研究


キーワード

レーザ応用ナノ計測,レーザ応用ナノ加工,セルインマイクロファクトリ

プレスリリース

プレスリリース

活動報告

活動報告

メルマガ「RCAST NAVI」

メルマガ「東大先端研NAVI」

先端研のタイムリーなトピックをお伝えするメールマガジンです。

内部リンク 登録・配信停止はこちら

内部リンク バックナンバーはこちら

各種メニュー
  • Facebook Twitter
  • 東京大学

  • サイト情報の開始

    page top

    Copyright (c) RCAST, The University of Tokyo