研究分野

半導体加工技術を応用して、シリコン基板上に微細な電気機械構造を集積化するMEMS技術（Micro Electro Mechanical Systems）の設計・製作に関する基礎研究と、MEMSデバイスの光ファイバ通信（光スイッチ、フィルタ、可変減衰器）、レーザー走査型プロジェクション画像ディスプレィ等の微小光学への応用研究を行っている。また、MEMS技術の高周波応用として、10GHz帯のマイクロ波スイッチや状態可変型のMEMSメタマテリアル導波路フィルタを手がけている。MEMSの真価は回路との集積化で発揮されるため、半導体回路基板に微小機械を搭載した集積化CMOS-MEMSに関して、電気-機械の連成解析設計法やMEMSポストプロセス集積化技術の研究開発を行っている。最近では、ロール・ツー・ロール印刷技術による大面積MEMSの製作方法を提案し、フレキシブル・ディスプレィ等への応用を試みている。