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研究者一覧

教授 Professor
年吉 洋 TOSHIYOSHI Hiroshi

極小デバイス理工学 分野

E-mail: hiroiis.u-tokyo.ac.jp

Tel: 03-5452-6276

FAX: 03-5452-6648

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2018 Research book (PDFファイル: 629KB)

略歴

1996年 3月   東京大学工学系研究科博士課程修了 
1996年 4月   東京大学生産技術研究所講師 
2002年 4月   東京大学生産技術研究所助教授 
2002年 5月   東京大学大規模集積システム設計教育研究センター助教授 
2005年 4月   東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター助教授 
2009年 7月   東京大学先端科学技術研究センター教授

研究分野

半導体加工技術を応用して、シリコン基板上に微細な電気機械構造を集積化するMEMS技術(Micro Electro Mechanical Systems)の設計・製作に関する基礎研究と、MEMSデバイスの光ファイバ通信(光スイッチ、フィルタ、 可変減衰器)、レーザー走査型プロジェクション画像ディスプレィ等の微小光学への応用研究を行っている。また、 MEMS技術の高周波応用として、10GHz帯のマイクロ波スイッチや状態可変型のMEMSメタマテリアル導波路フィルタ を手がけている。MEMSの真価は回路との集積化で発揮されるため、半導体回路基板に微小機械を搭載した集積化 CMOS-MEMSに関して、電気-機械の連成解析設計法やMEMSポストプロセス集積化技術の研究開発を行っている。最近 では、ロール・ツー・ロール印刷技術による大面積MEMSの製作方法を提案し、フレキシブル・ディスプレィ等への応 用を試みている。

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