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光製造科学分野  高橋研究室

ナノ製造世界の実現を目指して“光”の可能性を追求する

次世代の超精密ものづくりを実現するため、我々生命体の根源をなす“光”エネルギを媒体とした新しいマイクロ/ナノ加工・計測・生産技術に関する研究を推進しています。すなわち、従来から製造現場において広く用いられてきた、高い遠隔制御性を特徴とする自由空間伝搬光エネルギに加え、主に基礎科学分野において用いられてきた、高い空間的局在性を特徴とするエバネッセント光や近接場光といった局在光エネルギも含めて、次世代の先進的生産技術を支援する光エネルギの可能性を追求しています。具体的には、レーザー応用ナノインプロセス計測、レーザー応用ナノ加工に代表される先進製造を実現するための要素技術開発とともに、新しいマイクロデバイス生産システム概念となるセルインマイクロファクトリを提唱し、その確立を目指しています。それぞれの研究・技術開発においては、(a)新概念の提案から、(b)理論・実験両面からの特性解析、(c)実用化を見据えた実験的検証までをカバーしています。
主な研究テーマは以下の通りです。

(1)エバネッセント局在フォトンを用いたナノ光造形の開発
(2)半導体製造におけるナノ欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法の開発
(3)光触媒ナノ粒子を用いた三次元マイクロ構造レーザー直描法の開発
(4)局在光エネルギの動的制御を用いたセルインマイクロファクトリに関する研究

半導体パターンの回折限界超越検査 Targrt sample, Conventional optical microscopic image, Proposed Super-resolution image
半導体パターンの回折限界超越検査
自律的欠陥探索プローブによるナノ欠陥の一括検出
自律的欠陥探索プローブによるナノ欠陥の一括検出
エバネッセント光で造形した銀杏マーク
エバネッセント光で造形した銀杏マーク

メンバー

  • 高橋 哲 教授
  • 専門分野:光応用ナノ計測、光応用ナノ加工、セルインマイクロファクトリ
特任助教 門屋 祥太郎
<2020年5月現在>

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