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研究について
超精密製造科学分野　三村研究室

超精密製造科学分野　三村研究室

超精密加工で最先端科学を支える

大は太陽観察から小は細胞観察まで、独自の精密なものづくりにより天文宇宙分野から細胞生物学分野まで広範な最先端科学に貢献しています。他にない独創的な加工、計測、転写法を開発し、極限の超精密なものづくりの研究を行っています。また、大型放射光施設SPring-8とX線自由電子レーザーSACLAにおいて超精密なミラーを用いたX線顕微鏡を開発し、天文分野の研究者と太陽観察用望遠鏡ミラーの開発を行っています。一方で、長年の放射光実験の経験を活かし、切削加工、研削加工、放電加工、レーザー加工などあらゆる加工現象に対して放射光X線による高速撮像による解析を行っています。

超精密加工法の開発
原理的に原子を一層ずつ除去するメカニズムを有する物理化学現　象を利用し、原子単位の超精密加工、平坦化加工法の開発を行っています。
X線顕微鏡、X線望遠鏡の開発
大型放射光施設SPring-8およびX線自由電子レーザー施設SACLAにおいて、高い分解能を持つX線顕微鏡の開発を行っています。
また、天文観察用のX線望遠鏡の開発を天文分野の研究者と共同で行っています。
X線による加工現象の解析
SPring-8の強力な放射光X線を用い、切削、研削、放電加工、レーザー加工など様々な加工現象の観察と解析を行っています。