研究者一覧

  • 教授Professor
  • 三村 秀和MIMURA Hidekazu
  • 超精密製造科学 分野
  • 寄付研究部門 先端光学素子製造学

略歴

2002年 3月 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻博士後期課程 修了
2002年 4月 大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター 講師(研究機関研究員)
2003年 4月 大阪大学大学院工学研究科精密科学専攻 助手/助教
2004年 6月 理化学研究所 客員研究員
2006年 9月 JST さきがけ研究者
2011年 1月 東京大学大学院工学系研究科 准教授
2022年10月 理化学研究所放射光科学研究センター チームリーダー
2023年 1月 東京大学大学院工学系研究科 教授
2023年 4月 東京大学先端科学技術研究センター 教授

研究分野

専門は超精密加工とX線光学です。
超精密加工で目指している加工の精度は原子レベルです。任意の3次元的な複雑な形を形状精度と表面粗さともに極限の精度を達成する製造プロセスを開発しています。加工以外にも超精密な形状計測法や超精密な電鋳法も開発をしています。応用先は波長が短いEUVやX線用のミラーです。

その作製されたミラーを用い細胞を高分解能で観察できるX線顕微鏡や太陽コロナを観察するX線望遠鏡の開発も取り組んでいます。X線を用いると様々な物質の構造、組成、化学状態を分析することができます。兵庫県西播磨にある放射光施設SPring-8やX線自由電子レーザSACLAにおいて、ミラー開発やX線光学システムの開発を行っています。

さらに、SPring-8においては100keVという高エネルギーX線を用いて、機械加工、放電加工などの加工現象の観察による加工学理の解明を行っています。様々な加工を専門とする研究者や企業と連携をして新しい工具開発などを目指しています。

最近は、ミラー製造プロセスの自動化やSDGsに対応した低環境負荷な加工プロセス開発にも興味を持っています。X線望遠鏡はとてもロマンのある研究で自分達が開発したミラーが宇宙空間に使われることを夢見ています。高エネルギーX線による加工現象の解析は、新しい精密加工分野を拓こうとしています。

  • 軟X線集光用高精度ミラー

    軟X線集光用高精度ミラー

  • 軟X線顕微鏡

    軟X線顕微鏡

  • ドリル加工の高速X線撮像

    ドリル加工の高速X線撮像

キーワード

超精密加工、生産加工、X線光学、放射光科学

大学院・専攻

  • 工学系研究科 精密工学専攻
  • 工学系研究科 先端学際工学専攻

関連情報

    ページの先頭へ戻る